奈米與微機電領域之相關研究注重實驗及理論並行，從事製程開發、機械物理性質量測及前瞻製程設備之關鍵技術的研發，目前並以晶圓產業、電子封裝、平面顯示器、生化檢測為主要應用對象。

　　從事奈米與微機電領域之相關教授，在國家奈米計畫、國科會整合型計畫與教育部精密機電教育改進計畫的支持下，購置及建立了一系列的微奈米製程及機械性質量測設備。與國內外之研究機構和產業單位也有縝密的互動。

　　參與奈米與微機電領域之相關研究的同仁有機會在紮實的學理基礎，嚴格的實驗測試及繁密的產業互動中建立未來就業與深造的堅強背景。

奈米與微機電　師資介紹